ပစ်မှတ်ရဲ့ စွမ်းဆောင်ရည် လိုအပ်ချက်တွေက ဘာတွေလဲ။

ပစ်မှတ်သည် ကျယ်ပြန့်သောစျေးကွက်၊ အသုံးချဧရိယာနှင့် အနာဂတ်တွင် ကြီးမားသောဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုရှိသည်။ပစ်မှတ်လုပ်ဆောင်ချက်များကို သင့်အား ပိုမိုနားလည်သဘောပေါက်စေရန်အတွက်၊ ဤနေရာတွင် RSM အင်ဂျင်နီယာသည် ပစ်မှတ်၏ အဓိကလုပ်ဆောင်မှုလိုအပ်ချက်များကို အကျဉ်းချုံးမိတ်ဆက်ပေးပါမည်။

သန့်ရှင်းခြင်း- သန့်စင်မှုသည် ပစ်မှတ်၏ အဓိကလုပ်ဆောင်မှုဆိုင်ရာ ညွှန်ကိန်းများထဲမှ တစ်ခုဖြစ်ပြီး၊ ပစ်မှတ်၏ သန့်ရှင်းမှုသည် ရုပ်ရှင်၏လုပ်ဆောင်ချက်အပေါ် ကြီးမားသောအကျိုးသက်ရောက်မှုရှိသောကြောင့်ဖြစ်သည်။သို့သော် လက်တွေ့အသုံးချမှုတွင် ပစ်မှတ်၏ သန့်စင်မှုလိုအပ်ချက်များသည်လည်း ကွဲပြားပါသည်။ဥပမာအားဖြင့်၊ မိုက်ခရိုအီလက်ထရွန်းနစ်စက်မှုလုပ်ငန်း၏ လျင်မြန်သောဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုနှင့်အတူ၊ ဆီလီကွန် wafer ၏အရွယ်အစားသည် 6” မှ 8″ မှ 12” သို့ ချဲ့ထွင်လာပြီး ဝိုင်ယာကြိုးအကျယ်ကို 0.5um မှ 0.25um၊ 0.18um သို့မဟုတ် 0.13um သို့ လျှော့ချထားသည်။ယခင်က၊ ပစ်မှတ်သန့်စင်မှု၏ 99.995% သည် 0.35umic ၏ လုပ်ငန်းစဉ်လိုအပ်ချက်များကို ဖြည့်ဆည်းပေးနိုင်သော်လည်း 0.18um လိုင်းများပြင်ဆင်မှုသည် 99.999% သို့မဟုတ် ပစ်မှတ်သန့်စင်မှု၏ 99.9999% လိုအပ်ပါသည်။

အညစ်အကြေးပါဝင်မှု- ပစ်မှတ်အစိုင်အခဲများနှင့် အောက်ဆီဂျင်နှင့် ချွေးပေါက်အတွင်းရှိ ရေခိုးရေငွေ့များသည် စုဆောင်းထားသောရုပ်ရှင်များ၏ အဓိကညစ်ညမ်းမှုအရင်းအမြစ်များဖြစ်သည်။မတူညီသောရည်ရွယ်ချက်များအတွက် ပစ်မှတ်များသည် မတူညီသောညစ်ညမ်းမှုအကြောင်းအရာများအတွက် မတူညီသောလိုအပ်ချက်များရှိသည်။ဥပမာအားဖြင့်၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ငန်းတွင်အသုံးပြုသည့် သန့်စင်သော အလူမီနီယမ်နှင့် အလူမီနီယမ်အလွိုင်းပစ်မှတ်များသည် အယ်လကာလီသတ္တုပါဝင်မှုနှင့် ရေဒီယိုသတ္တိကြွဒြပ်စင်များပါဝင်မှုအတွက် အထူးလိုအပ်ချက်များရှိသည်။

သိပ်သည်းဆ- ပစ်မှတ်ရှိ ချွေးပေါက်များကို လျှော့ချရန်နှင့် sputtering ဖလင်၏ လုပ်ဆောင်ချက်ကို မြှင့်တင်ရန်အတွက် ပစ်မှတ်သည် အများအားဖြင့် သိပ်သည်းဆမြင့်မားရန် လိုအပ်ပါသည်။ပစ်မှတ်၏သိပ်သည်းဆသည် sputtering rate ကိုသာမက ဖလင်၏လျှပ်စစ်နှင့်အလင်းဆိုင်ရာလုပ်ဆောင်ချက်များကိုပါ ထိခိုက်စေပါသည်။ပစ်မှတ်သိပ်သည်းဆ မြင့်မားလေ၊ ဖလင်၏လုပ်ဆောင်ချက် ပိုမိုကောင်းမွန်လေဖြစ်သည်။ထို့အပြင်၊ ပစ်မှတ်၏သိပ်သည်းဆနှင့် ခွန်အားကို မြှင့်တင်ထားသောကြောင့် ပစ်မှတ်သည် sputtering လုပ်ငန်းစဉ်တွင် အပူဖိအားကို ပိုမိုကောင်းမွန်စွာ လက်ခံနိုင်မည်ဖြစ်သည်။သိပ်သည်းဆသည် ပစ်မှတ်၏ အဓိကလုပ်ဆောင်မှုဆိုင်ရာ ညွှန်ကိန်းများထဲမှ တစ်ခုလည်းဖြစ်သည်။