ပစ်မှတ်ကို ထိန်းသိမ်းခြင်းနှင့်ပတ်သက်၍ သူငယ်ချင်းများစွာသည် အနည်းနှင့်အများ မေးခွန်းများ အများအပြားရှိပါသည်၊ မကြာသေးမီက ဖောက်သည်များစွာသည် ပစ်မှတ်ဆိုင်ရာပြဿနာများကို ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းခြင်းနှင့်ပတ်သက်၍ ဆွေးနွေးတိုင်ပင်နေကြသည်၊၊ ကျွန်ုပ်တို့အတွက် RSM အယ်ဒီတာအား sputtering ပစ်မှတ်ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုဆိုင်ရာ အသိပညာအကြောင်း မျှဝေပါရစေ။
Sputter ပစ်မှတ်များကို မည်သို့ထိန်းသိမ်းသင့်သနည်း။
1၊ ပစ်မှတ်ထိန်းသိမ်းခြင်း။
sputtering လုပ်ငန်းစဉ်တွင် မသန့်ရှင်းသော အပေါက်ကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော ဝါယာရှော့နှင့် arcing များကို ရှောင်ရှားရန်အတွက်၊ အသုံးပြုသူများသည် ပါဝါသိပ်သည်းဆတွင် ဆက်တိုက် sputter ကို ကူညီပေးသည့် အလယ်နှင့် နှစ်ဖက်စလုံးရှိ sputter များကို အခါအားလျော်စွာ ဖယ်ရှားရန် လိုအပ်ပါသည်။
2၊ ပစ်မှတ်သိုလှောင်မှု
အသုံးပြုသူများသည် ပစ်မှတ် (သတ္တု သို့မဟုတ် ကြွေထည်ဖြစ်စေ) ကို လေဟာနယ်ထုပ်ပိုးမှုတွင် သိမ်းဆည်းရန် အကြံပြုထားပါသည်၊ အထူးသဖြင့် လျောက်ပတ်သောပစ်မှတ်အား လျောက်ပတ်သည့်အလွှာ၏ ဓာတ်တိုးမှုကို တားဆီးရန်အတွက် အံဝင်ခွင်ကျအရည်အသွေးကို ထိခိုက်မှုမဖြစ်စေရန် လေဟာနယ်တွင် သိမ်းဆည်းထားရပါမည်။သတ္တုပစ်မှတ်များကို ထုပ်ပိုးရာတွင် ၎င်းတို့ကို သန့်ရှင်းသော ပလတ်စတစ်အိတ်များတွင် အနည်းဆုံး ထုပ်ပိုးသင့်သည်ဟု ကျွန်ုပ်တို့ အကြံပြုထားသည်။
3၊ ပစ်မှတ်သန့်ရှင်းရေး
ပထမအဆင့်မှာ acetone တွင်စိမ်ထားသော ပျော့ပျောင်းသောအ၀တ်စဖြင့် သန့်ရှင်းရန်ဖြစ်သည်။
ဒုတိယအဆင့်သည် ပထမအဆင့်နှင့် ဆင်တူသည်၊ အရက်နှင့် သန့်ရှင်းရေး၊
အဆင့် 3: deionized ရေဖြင့် သန့်စင်ပါ။သန့်စင်ထားသောရေဖြင့် သန့်စင်ပြီးနောက်၊ ပစ်မှတ်ကို မီးဖို၌ထားကာ 100 ℃ တွင် မိနစ် 30 ခန့် အခြောက်ခံပါ။အောက်ဆိုဒ်နှင့် ကြွေထည်ပစ်မှတ်များကို သန့်စင်ရန် "ပျဉ်းမနားအထည်" ကို အသုံးပြုရန် အကြံပြုထားသည်။
စတုတ္ထအဆင့်မှာ sputtering system တွင် arc ဖြစ်စေနိုင်သော မသန့်ရှင်းသော အမှုန်အမွှားများကို ဖယ်ရှားရန် ပစ်မှတ်အား ဖိအားမြင့်၍ စိုထိုင်းဆနည်းသော အာဂွန်ဖြင့် ဆေးကြောရန် ဖြစ်သည်။
4, ဝါယာရှော့နှင့်တင်းကျပ်မှုစစ်ဆေး
ပစ်မှတ်ကို တပ်ဆင်ပြီးနောက်၊ cathode တစ်ခုလုံး short circuit နှင့် တင်းကျပ်မှုရှိမရှိ စစ်ဆေးရန် လိုအပ်သည်။ခံနိုင်ရည်မီတာနှင့် megger ကိုအသုံးပြု၍ cathode တွင် short circuit ရှိမရှိ စစ်ဆေးရန် အကြံပြုထားသည်။cathode တွင် short circuit မရှိကြောင်းအတည်ပြုပြီးနောက်၊ ရေယိုစိမ့်မှုစစ်ဆေးခြင်းကိုလုပ်ဆောင်နိုင်ပြီး၊ ရေယိုစိမ့်မှုရှိမရှိဆုံးဖြတ်ရန် cathode ထဲသို့ရေထည့်သွင်းနိုင်သည်။
5, ထုပ်ပိုးခြင်းနှင့်သယ်ယူပို့ဆောင်ရေး
ပစ်မှတ်များအားလုံးသည် အစိုဓာတ်ခံနိုင်သော အေးဂျင့်ဖြင့် လေဟာနယ်အလုံပိတ် ပလပ်စတစ်အိတ်များဖြင့် ထုပ်ပိုးထားသည်။အပြင်ဘက်အထုပ်သည် ယေဘူယျအားဖြင့် သစ်သားသေတ္တာသည် သယ်ယူပို့ဆောင်ရေးနှင့် သိုလှောင်မှုအတွင်း ပစ်မှတ်နှင့် နောက်ကြောင်းကို ထိခိုက်မှုမှကာကွယ်ရန် ပတ်ပတ်လည်တွင် တိုက်မိမှုဆန့်ကျင်အလွှာပါရှိသည်။
စာတိုက်အချိန်- ဇူလိုင်-၁၅-၂၀၂၂