RSM ၏ နည်းပညာဆိုင်ရာ အကြံပေးပုဂ္ဂိုလ်သည် ဆလင်ဒါပုံ နှင့် မျဥ်းလိုက်နိုင်သော magnetron sputtering ပစ်မှတ်များ၏ အားသာချက်များကို သင့်အား မျှဝေပေးမည်လား။အခြားသော magnetron sputtering ပစ်မှတ်များနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက၊ ဆလင်ဒါပုံနှင့် မျဉ်းကွေး magnetron sputtering ပစ်မှတ်များသည် ထောင့်မှန်စတုဂံပုံသဏ္ဍာန်ပစ်မှတ်များ၏ ကောင်းမွန်သော coating တူညီမှု၏ အားသာချက်များကို ဆက်လက်ထိန်းသိမ်းထားကာ အောက်ပါနည်းလမ်းနှစ်ခုဖြင့် ပစ်မှတ်များကို အများဆုံးအသုံးချနိုင်သည်-
(၁) ပစ်မှတ်၏မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ အဝိုင်းတွင်းတွင်းအုပ်စုနှစ်စု (လေးခု)သည် သတ်မှတ်ထားသော အနက်သို့ရောက်ရှိသောအခါ၊ ပစ်မှတ်အူတိုင် (သံလိုက်အစိတ်အပိုင်း) ကို ပစ်မှတ်ပြွန်နှင့် 45° နှိုင်းယှဥ်နိုင်သည်၊ သို့မှသာ ပစ်မှတ်ပြွန်ပေါ်ရှိ အခြားနေရာများ၊ ပိုးမွှားမွှားများကို အသုံးပြုနိုင်သည်။
(၂) ဆလင်ဒါနှင့် မျဉ်းကွေး magnetron sputtering ပစ်မှတ်၏ ပစ်မှတ် core ကို rotating target core အဖြစ် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသောအခါ (ပစ်မှတ် core သည် sputtering လုပ်နေချိန်တွင် လည်ပတ်နေသည်)၊ ပစ်မှတ်၏ မျက်နှာပြင်သည် ကျင်းများ မပါဘဲ အလွှာအလိုက် အညီအမျှ ကွဲထွက်သွားနိုင်ပါသည်။ထိုအချိန်တွင်၊ ပစ်မှတ်ကို အထိရောက်ဆုံးအသုံးပြုနိုင်မည်ဖြစ်ပြီး ပစ်မှတ်၏ အသုံးချမှုနှုန်းသည် 50% ~ 60% အထိရောက်ရှိနိုင်ပြီး ပစ်မှတ်သည် အဖိုးတန်သတ္တုဖြစ်သောအခါ၊ ၎င်းသည် သိသိသာသာ အရေးကြီးပါသည်။
သံလိုက်စက်ကွင်းပြဿနာကိုဖြေရှင်းရန်အတွက် coaxial cylindrical magnetron sputtering ပစ်မှတ်တွင် coaxial တိုင်ဖိနပ်ဖြင့် သံလိုက်၏နိယာမကိုအသုံးပြုခြင်းဖြင့်၊ စတုဂံလေယာဉ်ပစ်မှတ်ကို ဆလင်ဒါပုံနှင့် planar magnetron sputtering ပစ်မှတ်အဖြစ်သို့ ပြောင်းလဲနိုင်သည်၊ ပစ်မှတ်သည် ပစ်မှတ်၏အသုံးချမှုနှုန်းကို အမြင့်ဆုံးဖြစ်စေနိုင်သည်။ စတုဂံလေယာဉ်ပစ်မှတ်၏ ကောင်းမွန်သော coating တူညီမှုကို ထိန်းသိမ်းထားချိန်တွင် စီးပွားရေးအကျိုးအမြတ်များ တိုးတက်စေရန်။
စာတိုက်အချိန်- ဇူလိုင်-၀၄-၂၀၂၂